已分解的SF6包含多種成分，儀器對某些成分不靈敏，但對由于滅弧、閃絡或局放引起的SF6分解物靈敏。儀器釋放的SF6分解物有毒，特別是故障定位，即使透氣閥裝有一個新的過濾芯。使用足夠長的氣管輸送廢氣遠離工作人員。同時操作儀器時應戴酸氣體過濾器的全罩或半罩呼吸器。